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      Setra壓力傳感器廣泛應用于半導體行業的各個領域

      更新時間:2023-01-06  點擊次數: 241次
        Setra壓力傳感器可變電容材料具有極穩定的物理化學性能,可提供高達±0.02%FS的傳感器,穩定性優于±0.05%FS,采用其它敏感原理產品難以達到。先進的檢驗電路可檢測出敏感電容極微小的變化,從而具有高分辨率,如Setra的Model270大氣壓力傳感器的分辨率可達0.005%FS。
        
        性能優勢:
        1、測量范圍寬:具有很寬的測量范圍,它可對25Pa~70MPa范圍的壓力進行的測量,且具有的穩定性。
        2、長期穩定性好:與其他同類產品相比具有更高的穩定性,與其它傳感器如金屬應變式傳感器不同,電容式傳感器的蠕變,時效和溫度影響均很小。幾乎所有不利因素對電容式傳感器輸出穩定性的影響均小于其他形式的傳感器。Setra壓力傳感器的零點穩定性可達到0.05%FS/年。
        3、高輸出信號:電路可將電容的微小變化直接轉換成高輸出信號,而無需進行信號放大,壓阻式傳感器(薄模式,C式)輸出信號低,易受外界信號干擾等缺點,而這通常是傳感器穩定性差,受溫度影響大,易受電磁波干擾的主要原因。
        4、防腐抗干擾性能好:與介質相接觸的材料均采用不銹鋼材料,因而可與許多酸堿溶液,腐蝕性氣體或液體很好地相容??闺姶艌龈蓴_高輸出信號、抗干擾設計及采用金屬外殼,使Setra壓力傳感器對外部電磁場具有很高的抑制能力,它具有與可編程控制相當的抗干擾能力。
        5、在惡劣環境中工作:非常經久耐用,它的工業級的產品可承受小107次測滿量程壓力循環,如果工作壓力不,傳感器的循環壽命幾乎可達到長,而且其工業的產品均能承受100~200kg的沖擊和小10~20的振動。
        
        Setra壓力傳感器廣泛應用于半導體行業的各個領域,遍及半導體工藝的通用氣和特氣GDS系統,這些氣體用于半導體集成電路制造的方方面面。
        1、現場過程壓力測量;
        2、吹掃氣體傳輸系統壓力測量;
        3、傳送室壓力測量和控制;
        4、潔凈室空氣控制;
        5、泄漏檢測;
        6、通風柜控制;
        7、激光干涉儀;
        8、太陽能等新能源。
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